Trichlorosilane

Trichlorosilane (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) là chất lỏng không màu, dễ bay hơi, có mùi hydro clorua sắc bén, gây ngạt thở. Đun sôi ở nhiệt độ 31,8 độ và phản ứng mạnh với độ ẩm, đây là nguyên liệu chính cho quy trình của Siemens nhằm tạo ra{10}polysilicon có độ tinh khiết cao cho pin mặt trời quang điện và tấm bán dẫn. TCS cũng được sử dụng rộng rãi trong tăng trưởng wafer epiticular silicon, tổng hợp organosilicon (dầu silicon, cao su, nhựa, chất liên kết), lắng đọng màng mỏng silicon CVD và làm chất khử chọn lọc trong tổng hợp hữu cơ. Có sẵn ở cấp công nghiệp (Lớn hơn hoặc bằng 99,0%) và cấp điện tử (độ tinh khiết lên đến 9N). Được phân loại là phản ứng với nước và rất dễ cháy (UN 1295, Loại 4.3+2.3, PG I) với phạm vi nổ cực rộng từ 1,2%–90,5%; chỉ xử lý trong điều kiện khan nghiêm ngặt với khả năng bảo vệ nitơ khô.